一、簡(jiǎn)介
平面度檢查儀是一種用于檢測(cè)平面度的精密測(cè)量?jī)x器，廣泛應(yīng)用于航空航天、機(jī)械、汽車(chē)、電子、化工等各個(gè)領(lǐng)域中，是現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中的檢測(cè)設(shè)備之一。
平面度是指測(cè)量平面與正常方向的偏離程度，它是表征一個(gè)平面表面平整度和平面面積大小的物理量。一般來(lái)說(shuō)，平面度要求越高，制造成本就越高，因?yàn)樾枰捎酶泳?xì)的加工工藝和更高精度的機(jī)床設(shè)備。因此，對(duì)于一些高精度零部件的生產(chǎn)，平面度的檢測(cè)就顯得尤為重要。
二、原理
平面度檢查儀的檢測(cè)原理基于激光干涉儀測(cè)量原理。
光束從光源出發(fā)，經(jīng)過(guò)聚光透鏡在被測(cè)物體表面形成一束平行光。光波經(jīng)該光路中光學(xué)元件后形成兩股波，透過(guò)被測(cè)平面后再聚焦，光波再次干涉并聚集于檢測(cè)器上。檢測(cè)器檢測(cè)光強(qiáng)度差值，進(jìn)而計(jì)算出光程差和被測(cè)平面的表面形態(tài)。
三、技術(shù)指標(biāo)
1、分辨率
以光束的直徑為單位，表示平面度檢查儀上顯示的數(shù)字精度。
2、重復(fù)性
重復(fù)性指同一被測(cè)物測(cè)量多次得到的結(jié)果間的接近程度。
3、線(xiàn)性度
線(xiàn)性度指檢測(cè)儀在一定的測(cè)量范圍內(nèi)輸出值與被測(cè)值之間的偏差程度。
4、穩(wěn)定性
穩(wěn)定性表示檢測(cè)儀在不同溫度、濕度、震動(dòng)等條件下，輸出值變化的程度。
5、測(cè)量范圍
測(cè)量范圍指測(cè)量?jī)x器能夠檢測(cè)的被測(cè)平面的大小范圍。
四、應(yīng)用領(lǐng)域及維護(hù)保養(yǎng)
1、應(yīng)用領(lǐng)域
平面度檢查儀廣泛應(yīng)用于航空航天、機(jī)械、汽車(chē)、電子、化工等各個(gè)領(lǐng)域中，主要用于檢測(cè)高精度零部件的平面度。
2、維護(hù)保養(yǎng)
（1）平面度檢查儀不得強(qiáng)震或撞擊，避免造成損壞。
（2）檢查儀器各部件的接頭、固定螺絲是否松動(dòng)或損壞，及時(shí)處理。
（3）避免高溫、潮濕、腐蝕等情況，存放前需做好防護(hù)工作，并定期檢查儀器的存放環(huán)境。
（4）使用前要注意校準(zhǔn)，確保檢測(cè)精度。
（5）使用完畢后，應(yīng)將檢測(cè)儀器清潔干凈并保存在干燥、防塵的地方。
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